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Plessey采购晶圆键合系统 加大MicroLED的生产

Plessey采购晶圆键合系统 加大MicroLED的生产

导读: 据悉,英国光电子技木解决方案的开发商Plessey Semiconductor日前表示,已从晶圆键合和光刻设备生产商EVG购买了GEMINI晶圆键合系统。

据悉,英国光电a子技木解决方案的开发商Plessey Semiconductor日前表示,已从晶圆键合和光刻设备生产商EVG购买了GEMINI晶圆键合系统。

该企业计划使用该系统扩大其GaN-on-Si MicroLED的制造。Plessey表示,GEMINI生产晶圆键合系统将在Plessey位于英国普利茅斯的制造工厂展开粘合和校准的工作。与此同时,该系统还可将其GaN-on-Si MicroLED阵列与晶圆级背板紧密结合,具有极小像素尺寸所需的高对准精度。

EVG表示,其获得专利的SmartView ® NT自动键合对准系统技木可实现晶圆的正面对准,具有极高的精度。

此外,其GEMINI自动化生产晶圆键合系统实现了高水平的自动化和流程集成。该全自动平台可实现晶圆到晶圆对准以及提供高达300mm的晶圆键合工艺,适用于批量生产。

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